在微電子封裝領(lǐng)域,集成電路(IC)芯片與外部電路之間的電氣互連主要依靠細金屬引線鍵合技術(shù)完成。其中,金絲球鍵合工藝因其優(yōu)異的導電性、抗氧化性和成熟的工藝基礎(chǔ),被廣泛應(yīng)用于高可靠性領(lǐng)域,如航空航天、軍事電子、醫(yī)療設(shè)備及gao端汽車電子等。
因此,在金鋁鍵合產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)及質(zhì)量監(jiān)控環(huán)節(jié),對鍵合點進行快速、準確且無損的可靠性評估至關(guān)重要。非破壞性鍵合拉力測試(NDPT)作為一種高效的工藝監(jiān)控手段,能夠在不對器件造成物理損傷的前提下,有效篩選出強度不足的弱鍵合點,從而確保產(chǎn)品的長期可靠性。
本文科準測控小編旨在依據(jù)相關(guān)jun用標準,利用推拉力測試機對某型芯片的金鋁鍵合點進行系統(tǒng)性非破壞性拉力測試,以評估其工藝穩(wěn)定性與產(chǎn)品可靠性。
一、測試原理
非破壞性鍵合拉力測試(Non-Destructive Pull Test, NDPT)的核心原理是:對鍵合引線施加一個預(yù)先設(shè)定的、低于標準破壞性拉力最小值的靜態(tài)拉力,并保持短暫時間。這個預(yù)設(shè)的拉力值(Proof Test Load)通常根據(jù)引線直徑、鍵合工藝成熟度和產(chǎn)品可靠性要求來確定。
合格判定:如果鍵合點能夠承受該拉力而不發(fā)生斷裂或脫開,則表明該焊點的機械強度滿足zui低要求,被判為合格。
不合格判定:如果在施加該拉力的過程中,引線從焊點(通常是芯片側(cè)的球焊點)被拉脫,則說明該焊點界面存在缺陷(如IMC過厚、鍵合不牢、污染等)或強度不足,立即被判定為不合格。
二、測試標準
本次試驗嚴格遵循 GJB548B-2005《微電子器件試驗方法和程序》 中的 方法2023.2“非破壞性鍵合拉力試驗"。
三、測試設(shè)備
1、Alpha W260 推拉力測試機
Alpha W260是一款高精度、全自動的引線鍵合強度測試系統(tǒng),專為芯片鍵合球的剪切力測試和引線的拉力測試而設(shè)計。
關(guān)鍵性能:
精度傳感器:提供ji高的力值測量分辨率與精度,確保非破壞性測試中小力值的準確施加與判斷。
精確定位系統(tǒng):配備高性能光學顯微鏡和精密移動平臺,可快速精準地定位到每一條待測引線。
人性化軟件:內(nèi)置測試程序編輯器,可輕松設(shè)置測試參數(shù)(如拉力值、速度、保持時間),并自動記錄、統(tǒng)計和輸出測試結(jié)果。
合規(guī)性:設(shè)備設(shè)計wan全符合MIL-STD-883、GJB548等國內(nèi)外標準的要求。
2、鉤針
由高強度鎢鋼或碳化鎢材料制成,具有不同的直徑和角度(如45°,90°),需根據(jù)鍵合線的線徑和弧高進行選擇。鉤針必須保持光滑、無毛刺,以免提前損傷鍵合線。
3、工裝夾具
四、測試樣品信息
芯片:尺寸 4565 μm × 4565 μm
芯片焊盤:
尺寸:69.8 μm × 69.8 μm
最小間距:20 μm
材質(zhì)及厚度:鋁(Al),厚度 3 μm
鍵合絲:直徑 25 μm,純度 99.99% 的金絲(Au)
鍵合工藝:熱超聲金絲球鍵合(TSB)
樣品數(shù)量:60個
每樣品鍵合點數(shù):184根引線
五、測試流程
1、參數(shù)設(shè)置:在Alpha W260測試軟件中,依據(jù)GJB548B-2005方法2023.2和引線直徑,將非破壞性拉力值設(shè)定為 2.4 gf。同時設(shè)置合適的鉤針提升速度、保持時間等參數(shù)。
2、樣品安裝:將待測樣品牢固地固定在測試機的夾具平臺上。
3、鉤針定位:在顯微鏡下,使用精細的鉤針(通常為鎢鋼針)小心地伸入待測引線的弧線下部,確保鉤針與引線接觸,而不觸碰芯片表面或其它相鄰引線。
4、施力測試:啟動測試程序。鉤針以恒定速度垂直向上提升,對引線施加一個逐漸增大的拉力,直至達到預(yù)設(shè)的2.4 gf目標值并保持短暫時間(通常約100ms)。
5、結(jié)果判斷:
通過:引線未被拉脫,拉力曲線平穩(wěn)達到預(yù)設(shè)值并成功保持。設(shè)備記錄該點為“Pass"。
不通過:在施加拉力過程中,引線從芯片焊點界面斷裂或被wan全拉脫。設(shè)備會記錄該點為“Fail",并立即停止對該引線的測試。
循環(huán)測試:移動平臺或鉤針,按預(yù)定模式對樣品上的所有184根引線依次進行測試。
6、數(shù)據(jù)記錄與分析:測試完成后,軟件自動生成統(tǒng)計報告,包括總測試點數(shù)、通過率、失效點位置等。記錄每個樣品的最終狀態(tài)。
7、終止條件:按照要求,當所有試驗分組中的樣品均發(fā)生至少一個鍵合焊點拉脫(即被判為不合格)時,試驗終止,并據(jù)此評估該批鍵合工藝的整體可靠性。
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